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銷售AsahiSpectra朝日分(fēn)光、光學式膜厚計

簡要描述：

銷售AsahiSpectra朝日分(fēn)光、光學式膜厚計
在測量的wafer或glass上(shàng)面的薄膜上(shàng)垂直照射可視光，這時光的一(yī)部分(fēn)在膜的表面反射，另一(yī)部分(fēn)透進薄膜，然後在膜與底層（wafer或glass）之間的界面反射。

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光學式膜厚計OMD-1000

自動濾光器(qì) FC8-25A、FC32-25A

測量原理(lǐ)如(rú)下(xià)：在測量的wafer或glass上(shàng)面的薄膜上(shàng)垂直照射可視光，這時光的一(yī)部分(fēn)在膜的表面反射，另一(yī)部分(fēn)透進薄膜，然後在膜與底層 (wafer或glass)之間的界面反射。這時薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光産生(shēng)幹涉現象。SpectraThick series就(jiù)是利用這種幹涉現象來測量薄膜厚度的儀器(qì)。

以前的機型的波長選擇是過濾式，但(dàn)是新(xīn)産品在本公司加入有實績的分(fēn)光器(qì)，可以選擇任意的波長。膜厚變化(huà)的信号從電壓輸出到電腦對應的數字輸出，控制機構從手冊操作(zuò)成爲通過電腦的命令控制。另外，通過I / F直接與電腦直接連接膜厚計，并沒有其他制造商(shāng)的控制器(qì)等，是非常緊湊的系統。

特長