TOYOKOKAGAKU東橫化(huà)學清洗機M300
SiC功率器(qì)件熱處理(lǐ)設備Ailesic-2000,Ailesic-1400,Ailesic-1500,Ailesic-1700,Ailesic-X
清洗機M300,M800;ALD設備SAL1000
咨詢電話:0755-28286052
TOYOKOKAGAKU東橫化(huà)學清洗機M300
TOYOKOKAGAKU東橫化(huà)學清洗機M300
SiC功率器(qì)件熱處理(lǐ)設備Ailesic-2000,Ailesic-1400,Ailesic-1500,Ailesic-1700,Ailesic-X
清洗機M300,M800;ALD設備SAL1000
活化(huà)退火(huǒ)設備Ailesic-2000特征:
支持2000°C的SiC激活退火(huǒ)。
新(xīn)開發的加熱技術實現了(le)超快(kuài)速加熱和冷卻特性。
滿足客戶對小批量短時間處理(lǐ)的需求。
通過相同的加熱技術和高精度溫度控制技術實現穩定的工藝性能(néng),有助于穩定生(shēng)産。
從開發到6英寸高産能(néng)量産的豐富陣容。
在大規模生(shēng)産工廠中的良好(hǎo)(hǎo)運營記錄。
應用:活化(huà)退火(huǒ)。
CMP漿料供應系統的特點:
并聯供電系統穩定供電。通過觸摸屏輕松操作(zuò)。
高精度複合(可從多種複合方式中選擇複合方式。)。
自動沖洗功能(néng)。透明内膽,内部狀态一(yī)目了(le)然。
化(huà)學恒流量控制裝置概述:
化(huà)學恒流控制裝置主要用于CMP漿料的供給,也(yě)可用于純水、氫氟酸等多種化(huà)學物質的混合。
與傳統的使用稱量罐和混合罐的批量式供應設備相比,該機組具有:
1. 在線混合限度地減少化(huà)學品消耗
2. 批量供應設備無需清洗罐
3. 設備尺寸可以減小
M300是一(yī)款半自動FOUP/carrier 清洗機,結構緊湊,可一(yī)次處理(lǐ)大量工件。可處理(lǐ)晶圓載具、SMIF POD、各種傳送箱、300mm用FOUP、FOSB、RSP及各種工件。這是一(yī)種批量處理(lǐ)型清潔/幹燥設備,其中工件被設置在安裝在腔室内被稱爲柱的架狀框架上(shàng)的插入物中,然後在旋轉的同時進行清潔和幹燥。刀片的形狀因工件而異,隻需輕輕一(yī)按即可更換,因此可輕松切換對象工件。
特征:高容量/小占地面積。
超淨噴霧系統。擁有成本低(dī)。
用于幹燥的紅外線加熱器(qì)系統。
通過一(yī)鍵式更換刀片支持各種工件。
SAL1000 ALD設備是一(yī)款可安裝在桌面上(shàng)的緊湊型研發設備。
内置兩種前驅體,沉積性能(néng)在φ100以内±3%(AlO3)以内。
此外,通過使設備更緊湊,我們減少了(le)零件數量。
特征:
沉積過程可以在前觸摸屏上(shàng)設置,壓力和操作(zuò)狀态可以檢查。
從抽真空到成膜的設定過程自動進行,成膜完成後,按下(xià)排氣按鈕即可取出基闆。
配備2個前驅體系統,兼容基闆高達φ4"。
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