CC2000S氣缸櫃TOYOKOKAGAKU東橫化(huà)學
氣缸櫃CC2000S,SEMI,BSGS;氣體箱VMB,VMP
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氣缸櫃CC2000S,SEMI,BSGS;氣體箱VMB,VMP
氣缸櫃CC2000S的4大基本原則
保持高純度氣體質量:爲了(le)應對以半導體制造工廠爲代表的高純度品質的需求,我們通過嚴選零部件和配管等材料,實現了(le)高品質氣體的供應。
以安全爲設計理(lǐ)念:針對有毒、易爆等高危氣體的安全供應,我們根據每種氣體的物理(lǐ)特性進行設計。
設計時考慮到穩定的供應:針對24小時365天不間斷供應系統的需求,我們根據應對各種可能(néng)出現的問題的豐富經驗,設計出穩定的供應。
減少環境負荷:我們正在實施不僅在日本而且在海外都受到重視的節能(néng)和低(dī)環境負荷措施。
氣體面闆/氣體箱 (VMB/VMP)特征:
根據您的要求設計系統。
獨立控制系統包括控制系統。
遵守法律法規,應對各種應用。
小尺寸到大尺寸可選。
氦氣(He)回收設備特征:
可進行高精度濃度控制,回收的氦(He)混合氣體可調整至規定的氦(He)濃度并穩定供給。
不受排氣條件影響的系統,該系統可以應對連續排氣和間歇排氣,可以構建與客戶生(shēng)産系統相匹配的回收系統。
對應各種廢氣成分(fēn):可去除油分(fēn)、水分(fēn)、金(jīn)屬、生(shēng)成氣體等雜質,提高純度。我們将在分(fēn)析廢氣後設計系統。
通過選擇最合适的設備來壓縮和精煉長壽命氦 (He) 氣,該系統限度地降低(dī)了(le)消耗成本。
現場供應,我們還可以處理(lǐ)管理(lǐ)回收設備并供應濃度調整後氣體的商(shāng)業模式。
回收率爲90%以上(shàng),系統的設計限度地減少了(le)廢氣,從而實現了(le)高産率。也(yě)可以追加對工件内部的氦(He)混合氣體進行排氣的功能(néng)。
按減排設備用途分(fēn)類:
1.生(shēng)産設備減排設備: 生(shēng)産設備廢氣處理(lǐ)。
2.C/C VENT減排設備: 鋼瓶更換過程中的殘餘氣體處理(lǐ)。
3.應急減排設備: 供應設備漏氣時應急。
氣體檢測儀是一(yī)種監測可燃氣體和有毒氣體洩漏的設備。從氣體制造商(shāng)的角度,我們将考慮安裝工作(zuò)、I/L 提案等,例如(rú)防止洩漏的安全措施。