正品原廠hitachi日立高分(fēn)辨場發射掃描電鏡
采用電子(zǐ)束在Flashing後出現的高亮度穩定區域作(zuò)爲穩定觀察的區間,使得低(dī)加速電壓條件下(xià)兼備高分(fēn)辨觀察和分(fēn)析的性能(néng)
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深圳市(shì)井澤貿易有限公司
胡經理(lǐ)
正品原廠hitachi日立高分(fēn)辨場發射掃描電鏡
正品原廠hitachi日立高分(fēn)辨場發射掃描電鏡
項目 | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
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二次電子(zǐ)分(fēn)辨率 | 0.8 nm (加速電壓15 kV) 1.1 nm (着陸電壓1 kV)*3 | 0.7 nm(加速電壓 15 kV) 0.9 nm(着陸電壓 1 kV)*3 | |||||
着陸電壓 | 0.1~2 kV | 0.01~20 kV | |||||
放(fàng)大倍率 | 20~1,000,000倍*4 | 20~2,000,000倍*4 | |||||
樣品台 | 樣品台控制 | 3軸馬達台(可選5軸馬達台) | 5軸馬達驅動 | ||||
移動範圍 | X | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~110 mm | ||
Y | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~80 mm | |||
R | 360° | ||||||
T | -5~70° | ||||||
Z | 1.5~30 mm | 1.5~40 mm | |||||
再現性 | - | - | - | ±0.5 µm以下(xià)含±0.5 µm |
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