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正規代理(lǐ)hitachi日立聚焦離子(zǐ)束系統顯微鏡/望遠鏡

簡要描述：

正規代理(lǐ)hitachi日立聚焦離子(zǐ)束系統
新(xīn)型電子(zǐ)光學系統，可達到世界高水準的SIM像分(fēn)辨率・大束流使加工速度得以提升・提高了(le)低(dī)加速電壓的分(fēn)辨率，使得高品質TEM樣品制備成爲可能(néng)

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正規代理(lǐ)hitachi日立聚焦離子(zǐ)束系統

MI4050是具有以下(xià)特征的高性能(néng)聚焦離子(zǐ)束系統：新(xīn)型電子(zǐ)光學系統，可達到世界高水準的SIM像分(fēn)辨率・大束流使加工速度得以提升・提高了(le)低(dī)加速電壓的分(fēn)辨率，使得高品質TEM樣品制備成爲可能(néng)
可用于截面加工觀察，高品質TEM樣品制備，電路(lù)修複，Vector Scan加工，微納米級微細圖形及磨具加工，利用沉積功能(néng)制作(zuò)3維構造等衆多樣品加工應用。

通過提高極低(dī)加速電壓（0.5kV～）加工及低(dī)加速電壓二次電子(zǐ)圖像分(fēn)辨率，實現制備損傷率更低(dī)的TEM樣品

優越的操作(zuò)性能(néng)和多種多樣的加工模式

截面制備程序加工
TEM/STEM樣品程序加工
自動連續加工
TEM樣品自動連續精加工軟件
位圖加工
Vector Scan加工
制備納米精度三維結構樣品其他

項目	内容
樣品尺寸	50mm×50mm×12mm（t）以下(xià)
樣品台	5軸電動機械優中心馬達台
加速電壓	1～30kV　（0.5kV～　選配）（0.5～1.0kV ：步長0.1kV）（1.0～2.0kV ：步長0.2kV）
二次電子(zǐ)分(fēn)辨率	4nm＠30kV
大探針電流	90nA
大探針電流密度	50A/cm2