正品直銷hitachi日立FIB-SEM三束系統
通過自動重複使用FIB制備截面和進行SEM觀察,采集一(yī)系列連續截面圖像,并重構特定微區的三維結構
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深圳市(shì)井澤貿易有限公司
胡經理(lǐ)
正品直銷hitachi日立FIB-SEM三束系統
正品直銷hitachi日立FIB-SEM三束系統
NX2000 NX9000
追求理(lǐ)想的三維結構分(fēn)析
通過自動重複使用FIB制備截面和進行SEM觀察,采集一(yī)系列連續截面圖像,并重構特定微區的三維結構。
采用理(lǐ)想的鏡筒布局,從先進材料、先進設備到生(shēng)物組織——在寬廣的領域範圍内實現傳統機型難以企及的高精度三維結構分(fēn)析。
項目 | 内容 | |
---|---|---|
SEM | 電子(zǐ)源 | 冷場場發射型 |
加速電壓 | 0.1 ~ 30 kV | |
分(fēn)辨率 | 2.1 nm@1 kV | |
1.6 nm@15 kV | ||
FIB | 離子(zǐ)源 | 镓 |
加速電壓 | 0.5 ~ 30 kV | |
分(fēn)辨率 | 4.0 nm@30 kV | |
大束流 | 100 nA | |
标準探測器(qì) | In-colum二次電子(zǐ)探測器(qì)/In-colum背散射電子(zǐ)探測器(qì)/ 樣品室二次電子(zǐ)探測器(qì) | |
樣品台 | X | 0 ~ 20 mm *2 |
Y | 0 ~ 20 mm *2 | |
Z | 0 ~ 20 mm *2 | |
θ | 0 ~ 360° *2 | |
τ | -25 ~ 45° *2 | |
大樣品尺寸 | 正方形邊長6 mm × 厚度2 mm |
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